Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике. Юрий Колковский
Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике
Год выпуска: 2016
Автор произведения: Юрий Колковский
Жанр: Техническая литература
Издательство: Техносфера
isbn: 978-5-94836-426-1
Краткое описание:
В книге представлено обобщение накопленного опыта по созданию методов входного и технологического контроля при разработке и производстве СВЧ транзисторов на основе широкозонных материалов, в частности, транзисторов на гетероструктурах типа AIGaN/GaN. Рассмотрены системы отечественных и зарубежных стандартов, на основе которых проводятся разработки СВЧ транзисторов. Подробно описаны физические основы гетероструктур, описаны свойства широкозонных полупроводников, методы изготовления СВЧ транзисторов. Детально анализируется технология производства транзисторов с учетом имеющегося опыта их реального изготовления. Рассмотрены электрические, оптические, рентгеновские, электронно-микроскопические и аналитические методы, которые применяются при входном и технологическом методах контроля. Рассмотрен опыт создания в ОАО «НПП „Пульсар“ СВЧ транзисторов и СВЧ блоков на их основе. Книга будет полезна специалистам в области электроники, исследователям, инженерам-практикам и разработчикам радиоэлектронной аппаратуры.