Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем. П. С. Маринушкин
Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем
Год выпуска: 2022
Автор произведения: П. С. Маринушкин
Издательство: Сибирский федеральный университет
isbn: 978-5-7638-4575-4
Краткое описание:
Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS. Предназначено по кодификатору ФГОС ВО для направлений подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».