Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур. Кирилл Щербачев
Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур
Год выпуска: 2001
Автор произведения: Кирилл Щербачев
Жанр: Техническая литература
Издательство: МИСиС
isbn:
Краткое описание:
Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной.