Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций. Геннадий Кузнецов
Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций
Год выпуска: 2008
Автор произведения: Геннадий Кузнецов
Жанр: Техническая литература
Издательство: МИСиС
isbn:
Краткое описание:
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.