Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов. Дмитрий Крутогин

Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов

Год выпуска: 2013

Автор произведения: Дмитрий Крутогин

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы».