Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Аскер Кушхов

---

Скачать книгу

---

Читать онлайн

Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Год выпуска: 2008

Автор произведения: Аскер Кушхов

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.