Выращивание монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей. Александр Шиманский

Выращивание монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей

Год выпуска: 2013

Автор произведения: Александр Шиманский

Серия:

Жанр: Прочая образовательная литература

Издательство: Сибирский федеральный университет

isbn: 978-5-7638-2822-1

Краткое описание:

В монографии обобщен экспериментальный материал отечественных и зарубежных ученых по проблеме получения монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей. Представлены собственные результаты авторов по выращиванию малодислокационных и особо чистых кристаллов германия, разработке новых контейнерных материалов, исследованию поведения кислорода в германии и его влияния на структурное совершенство монокристаллов. Предназначена для специалистов, занимающихся изучением и производством полупроводников, а также студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Материаловедение и технологии материалов», «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники».