Выращивание монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей. Александр Шиманский
Выращивание монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей
Год выпуска: 2013
Автор произведения: Александр Шиманский
Жанр: Прочая образовательная литература
Издательство: Сибирский федеральный университет
isbn: 978-5-7638-2822-1
Краткое описание:
В монографии обобщен экспериментальный материал отечественных и зарубежных ученых по проблеме получения монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей. Представлены собственные результаты авторов по выращиванию малодислокационных и особо чистых кристаллов германия, разработке новых контейнерных материалов, исследованию поведения кислорода в германии и его влияния на структурное совершенство монокристаллов. Предназначена для специалистов, занимающихся изучением и производством полупроводников, а также студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Материаловедение и технологии материалов», «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники».