Зондовые нанотехнологии в электронике. Владимир Неволин
Зондовые нанотехнологии в электронике
Год выпуска: 2014
Автор произведения: Владимир Неволин
Серия: Мир электроники
Жанр: Техническая литература
isbn: 978-5-94836-382-0
Краткое описание:
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.