[email protected]
Название: Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Автор: В. Ю. Васильев
Серия:
Жанр:
Название: Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
Название: Современное производство изделий микроэлектроники
Название: Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
