Основы технологии электронной компонентной базы. Е. Э. Бодров
Основы технологии электронной компонентной базы
Год выпуска: 0
Автор произведения: Е. Э. Бодров
Жанр: Учебная литература
Издательство: Инфра-Инженерия
isbn: 978-5-9729-0846-2
Краткое описание:
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».