Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки. Коллектив авторов
Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
Год выпуска: 0
Автор произведения: Коллектив авторов
Издательство: Издательство ЛАНЬ
isbn: 978-5-507-45480-8
Краткое описание:
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».