Расчет вакуумных систем технологического оборудования. Валерий Михайлов
Расчет вакуумных систем технологического оборудования
Год выпуска: 2022
Автор произведения: Валерий Михайлов
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
isbn: 978-5-7038-5813-4
Краткое описание:
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».