Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Дмитрий Духопельников
Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Год выпуска: 2014
Автор произведения: Дмитрий Духопельников
Жанр: Учебная литература
isbn: 978-5-7038-3798-6
Краткое описание:
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.