Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии. Валерий Михайлов
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
Год выпуска: 2011
Автор произведения: Валерий Михайлов
Жанр: Техническая литература
isbn: 978-5-7038-3494-7
Краткое описание:
Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.