Технологические процессы микроэлектроники. В. В. Макарчук
Технологические процессы микроэлектроники
Год выпуска: 2016
Автор произведения: В. В. Макарчук
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
isbn: 978-5-7038-4358-1
Краткое описание:
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.