Твердые растворы на основе карбида кремния. Гаджимет Сафаралиев
Твердые растворы на основе карбида кремния
Год выпуска: 2011
Автор произведения: Гаджимет Сафаралиев
Жанр: Техническая литература
Издательство: "Физматлит"
isbn: 978-5-9221-1297-0
Краткое описание:
Настоящая монография содержит теоретические и экспериментальные результаты исследований в области формирования твердых растворов на основе SiC и соединений AlN, GaN, NbC, TiC, ZrC методами жидкофазной и газофазной эпитаксии. В работе представлены электрофизические, оптические и структурные свойства монокристаллов, эпитаксиальных слоев и гетероструктур на основе твердых растворов SiC, а также рассмотрены их приборные применения. Книга адресована научным работникам, аспирантам и студентам, работающим в области физики и технологии широкозонных полупроводниковых материалов, а также специалистам электронной промышленности.