Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел. Анатолий Вяткин

Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел

Год выпуска: 2001

Автор произведения: Анатолий Вяткин

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов.