Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев. Владимир Астахов

---

Скачать книгу

---

Читать онлайн

Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

Год выпуска: 2007

Автор произведения: Владимир Астахов

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.