Материалы и элементы электронной техники. Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния. Андрей Полисан
Материалы и элементы электронной техники. Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния
Год выпуска: 2007
Автор произведения: Андрей Полисан
Жанр: Техническая литература
Издательство: МИСиС
isbn:
Краткое описание:
В учебном пособии рассмотрены базовые технологические процессы, использующиеся при изготовлении тонкопленочных многослойных структур и солнечных элементов на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния. Приведены конструктивные особенности таких приборов. Для усвоения предлагаемого материала студенту необходимо знать физические принципы работы солнечных элементов.