Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов. Дмитрий Крутогин

Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов

Год выпуска: 2012

Автор произведения: Дмитрий Крутогин

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.