Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Дмитрий Крутогин

---

Скачать книгу

---

Читать онлайн

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Год выпуска: 2015

Автор произведения: Дмитрий Крутогин

Серия:

Жанр: Педагогика

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».