Наноэлектроника. Марина Орлова
Наноэлектроника
Год выпуска: 2013
Автор произведения: Марина Орлова
Жанр: Учебная литература
Издательство: МИСиС
isbn:
Краткое описание:
Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.