Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия. Марина Воронова
Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия
Год выпуска: 2016
Автор произведения: Марина Воронова
Жанр: Техническая литература
Издательство: МИСиС
isbn:
Краткое описание:
Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники».