Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия. Марина Воронова

Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия

Год выпуска: 2016

Автор произведения: Марина Воронова

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники».