Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа. Владимир Астахов

Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа

Год выпуска: 2007

Автор произведения: Владимир Астахов

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001.

Другие книги автора Павел Иванович Кононов:

Административно-процессуальное право России в 2 ч. Часть 2 2-е изд., пер. и доп. Учебник для бакалавриата, специалитета и магистратуры-Павел Иванович Кононов
Административное право России 2-е изд., пер. и доп. Учебник и практикум для бакалавриата и специалитета-Павел Иванович Кононов
Административно-процессуальное право России в 2 ч. Часть 1 2-е изд., пер. и доп. Учебник для бакалавриата, специалитета и магистратуры-Павел Иванович Кононов
Административное право России 4-е изд., пер. и доп. Учебник для бакалавриата, специалитета и магистратуры-Павел Иванович Кононов
Административное право России 3-е изд., пер. и доп. Учебник и практикум для вузов-Павел Иванович Кононов
Исполнительное административно-процессуальное право. Учебник для вузов-Павел Иванович Кононов
Административное право 2-е изд., пер. и доп. Учебное пособие для СПО-Павел Иванович Кононов
Административное право России 5-е изд., пер. и доп. Учебник для вузов-Павел Иванович Кононов
Административное право России-Павел Иванович Кононов
Актуальные проблемы административного права. (Магистратура). Учебник.-Павел Иванович Кононов