Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны. Аскер Кушхов

Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны

Год выпуска: 2012

Автор произведения: Аскер Кушхов

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела.