Физические основы вакуумной техники. Александр Василевский

Физические основы вакуумной техники

Год выпуска: 2014

Автор произведения: Александр Василевский

Серия:

Жанр: Учебная литература

Издательство: НГТУ

isbn: 978-5-7782-2424-7

Краткое описание:

Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.