Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Игорь Житяев
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Год выпуска: 0
Автор произведения: Игорь Житяев
Жанр: Учебная литература
Издательство: Южный Федеральный Университет
isbn: 9785927523955
Краткое описание:
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».