Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы). Ю. В. Колковский
Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)
Год выпуска: 2017
Автор произведения: Ю. В. Колковский
Жанр: Учебная литература
Издательство: Техносфера
isbn: 978-5-94836-471-1
Краткое описание:
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.