Технологии субмикронных структур микроэлектроники. Коллектив авторов

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Год выпуска: 2018

Автор произведения: Коллектив авторов

Серия:

Жанр: Учебная литература

Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”

isbn: 978-985-08-2298-7

Краткое описание:

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.