Технологии субмикронных структур микроэлектроники. Коллектив авторов
Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Год выпуска: 2018
Автор произведения: Коллектив авторов
Жанр: Учебная литература
Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”
isbn: 978-985-08-2298-7
Краткое описание:
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.