Техническая механика микросистем. Коллектив авторов
Техническая механика микросистем
Год выпуска: 2015
Автор произведения: Коллектив авторов
Жанр: Учебная литература
Издательство: «Лаборатория знаний»
isbn: 978-5-9963-3001-0
Краткое описание:
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.