Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники. Коллектив авторов
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
Год выпуска: 2020
Автор произведения: Коллектив авторов
Жанр: Техническая литература
Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”
isbn: 978-985-08-2521-6
Краткое описание:
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.