Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства. Павел Маринушкин
Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства
Год выпуска: 2020
Автор произведения: Павел Маринушкин
Жанр: Учебная литература
Издательство: Сибирский федеральный университет
isbn: 978-5-7638-4263-0
Краткое описание:
Рассмотрены математические модели, которые описывают приборные полупроводниковые структуры, технологические процессы их создания и программные средства, обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 «Электроника и наноэлектроника». Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».