[email protected]
Название: Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Автор: А. И. Мочалов
Серия: Нанотехнологии
Жанр: Техническая литература
Название: Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Серия:
