Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие. А. И. Мочалов
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Год выпуска: 2012
Автор произведения: А. И. Мочалов
Жанр: Техническая литература
Издательство: «Лаборатория знаний»
isbn: 978-5-9963-2569-6
Краткое описание:
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.