[email protected]
Название: Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии
Автор: Александр Величко
Серия:
Жанр: Учебная литература
Название: Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2
