Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2. Александр Величко
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2
Год выпуска: 2014
Автор произведения: Александр Величко
Жанр: Учебная литература
Издательство: НГТУ
isbn: 978-5-7782-2534-3
Краткое описание:
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».