Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Геннадий Кузнецов

---

Скачать книгу

---

Читать онлайн

Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

Год выпуска: 2005

Автор произведения: Геннадий Кузнецов

Серия:

Жанр: Техническая литература

Издательство: МИСиС

isbn:

Краткое описание:

В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.