Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Ю. А. Родионов
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Год выпуска: 2019
Автор произведения: Ю. А. Родионов
Жанр: Учебная литература
Издательство: Инфра-Инженерия
isbn: 978-5-9729-0337-5
Краткое описание:
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.