[email protected]
Название: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Автор: Ю. А. Родионов
Серия:
Жанр: Учебная литература
Название: Производство гибридных интегральных схем
Название: Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Название: Основы микросенсорики
