Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Ю. А. Родионов
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Год выпуска: 0
Автор произведения: Ю. А. Родионов
Жанр: Учебная литература
Издательство: Издательство ЛАНЬ
isbn: 978-5-8114-5788-5
Краткое описание:
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».